围绕磁悬浮技术的又一项技术实践正快步走进现实。

　　近日，全国首个关于磁悬浮自轴承泵的国家标准研讨会在苏州顺利召开。该会议由全国磁悬浮动力技术基础与应用标准化工作组主办，苏州苏磁智能科技有限公司（简称：苏磁科技）承办，来自高校、科研院所、生产企业及使用单位的30余位专家和代表参会，深入探讨并制定国内磁悬浮泵送领域的首个国家标准，也开启了行业规范化、产业化发展的序幕。

　　其中，标准起草单位之一的苏磁科技，正是国内极少数实现磁悬浮技术自主产业化并进入国内外十几家半导体芯片终端的企业之一。凭借多年在技术领域的持续深耕，公司已在磁悬浮技术领域形成了从材料选择到磁路设计，再到算法控制与系统集成应用的全链条技术优势，在磁悬浮技术引领全球产业变革的前沿崭露头角。

　　国产磁悬浮技术强势突围

　　在科研领域中，已经诞生100多年的磁悬浮技术并不神秘。这种利用磁场力，使运动部件无需物理接触即可始终稳定“悬浮”于预定位置的高精度控制技术，具有“高精度、低剪切、无机械接触和密封、无需润滑油、无磨损、高洁净、低振动”等诸多优势。

　　而在半导体行业中，洁净和高精度正是整个产业链的生命线。任何微小的颗粒污染、振动干扰或材料变化都可能导致晶圆良率下降甚至报废。可以说，磁悬浮技术正好切中了该行业的痛点。完全无机械接触、无需润滑、低振动的磁悬浮系统，足以在晶圆制造过程中从根本上杜绝颗粒物来源，彻底消除因机械摩擦导致的良率下降和机械振动带来的工艺偏差。

　　早在1985年，国内高校就已开始磁悬浮技术研究，国内半导体产业界也一直试图将该技术引入生产实践。然而，长期以来该领域被欧美企业强势垄断。数据显示，我国半导体行业曾有超过70种关键设备与部件面临海外禁运或技术封锁，其中近30%涉及磁悬浮技术。

　　面对行业“卡脖子”困境，一批企业选择从技术源头攻坚，苏磁科技正是其中之一。苏磁科技的控制技术起源于中国科学院上海光源大科学装置，从利用磁场控制电子束的运动开始，公司不断在技术领域深耕探索，组建了跨学科研发团队，将其在压缩机、人工心脏等项目中积累的控制技术与传感技术，迁移至半导体场景。

　　磁悬浮晶圆转台是半导体制造设备的卡脖子核心部件，其运转精度和稳定性直接影响芯片良品率。2022年苏磁科技临危受命，三个月全力攻关，成功自主研发我国首款磁悬浮晶圆转台产品，打破国外长达数十年的技术垄断。

　　当前，苏磁科技核心产品已涵盖磁悬浮晶圆转台、磁悬浮液体泵、磁悬浮搅拌系统等诸多核心零部件。

　　其中，在磁悬浮泵领域，苏磁科技也凭借产品无脉动、低剪切、高洁净等优势，正在逐步替代传统的风囊泵、隔膜泵，解决了半导体制造中敏感液体输送环节的洁净性、稳定性问题。2023年量产后，产品迅速获得国内外客户认可，目前已进入日本、韩国、中国等市场。此次磁悬浮自轴承泵标准研讨会上，苏磁科技更作为产业代表，通过深度参与标准制定，推动行业规范化发展，为磁悬浮泵送技术加速产业化吹响了号角。

　　磁悬浮应用边界持续拓宽

　　磁悬浮底层技术的平台化让苏磁科技能快速响应不同产业的差异化应用需求。除半导体外，苏磁科技的磁悬浮高端装备也已延伸至生物制药、精细化工、核能、能源、航天等领域。

　　在生物制药环节，尤其是大分子药物、细胞治疗和疫苗生产过程中，液体输送与混合环节对“洁净度”和“低剪切”的要求极为苛刻。传统机械泵存在摩擦颗粒物脱落、液体剪切力高导致蛋白质结构破坏等问题。

　　苏磁科技推出的磁悬浮泵及搅拌系统，凭借完全无接触运行，直接降低了药液污染风险，同时低剪切力可保护大分子药物结构不被破坏。搅拌过程中能实现桨叶完全主动悬浮，不接触容器壁便无颗粒，精准控速实现平稳搅拌，避免药液分层。目前，公司磁悬浮泵和磁悬浮搅拌系统产品均已实现量产。

　　在能源、真空等领域，磁悬浮高温熔盐泵、磁悬浮涡轮分子泵等产品也正在推进研发与验证，以稳步应对相关领域中国产业所面临的“卡脖子”问题。在核电领域，全球首台磁悬浮高温熔盐泵已研发成功，耐受数百摄氏度高温的严苛环境，填补了核能源领域磁悬浮泵送技术的空白。

　　磁悬浮技术凭借节能、洁净、高可靠、长寿命、降噪等方面的优势，是电机轴承技术发展的必然方向，可广泛应用于半导体、医药、化工、能源等各种工业领域，例如人工心脏、卫星调姿飞轮、工业压缩机、鼓风机、空调、液体泵、真空泵、储能飞轮、发电机、汽轮机、纺纱电机等等。磁悬浮电机未来将会成为工业基础部件。

　　在市场空间逐步释放的背景下，苏磁科技已形成以自主研发的磁悬浮技术为核心、覆盖多领域关键零部件的平台化产业布局。公司不仅在多个产品线突破了半导体等领域的“卡脖子”困局，更凭借底层技术突破，将磁悬浮打造成高端制造领域“洁净、精密、可靠”的基础性技术支撑，促进中国高端工业基础部件的创新升级发展，成为护航我国高端制造产业链安全、驱动中国智造升维发展的“隐形冠军”。

　　如今，苏磁科技不再满足于对标和替代国外产品，更开启了中国磁悬浮技术企业的全球征程。某全球头部的半导体设备商已完成对苏磁科技的审厂认证，计划将其产品纳入全球采购名录，标志着中国磁悬浮技术从“替代备选”进阶为“供应链标配”。目前，苏磁科技已设立日本子公司及多个海外办事处，逐步实现从产品出口到技术出海的国际化布局，代表中国科技力量实现了磁悬浮技术差异化创新解决方案的反向输出。